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相移電子散斑干涉（ESPI）技術(shù)是繼光彈性和全息干涉等光測(cè)力學(xué)方法之后發(fā)展起來(lái)的一種實(shí)驗(yàn)力學(xué)新方法。它直接依靠激光干涉和計(jì)算機(jī)圖像采集處理系統(tǒng)獲得干涉條紋。這種方法在工程上已得到了較廣泛的運(yùn)用，可用于解決工程中的強(qiáng)度和剛度問(wèn)題，并可用于殘余應(yīng)力測(cè)量。

三維相移電子散斑干涉儀可滿足物體表面面內(nèi)位移和離面位移測(cè)量的要求。該儀器采用高性能半導(dǎo)體激光器作光源，并配以電子散斑條紋實(shí)時(shí)顯示和位相處理軟件，使得操作方便、測(cè)量結(jié)果兼容性強(qiáng)（便于通用數(shù)據(jù)處理軟件接口）。